“Bij ASML gebruiken ze platen waar hun zogenaamde ‘wafers’ op liggen, via het principe van een magneetveld. Er blijft aan één kant maar weinig over, het midden frezen ze weg. Het materiaal moet daarom een hoge zogenaamde parallelliteit hebben. Daarom moeten ze de zogenaamde ‘grain flow’ weten, ze weten dan hoe de kristallen in de plaat zijn gewalst.”
Arno van Wijnen krijgt bij MCB Specials regelmatig vragen over de ‘grain flow’ van materialen. Meestal gaat dit over platen: “Als je een plaat bewerkt, is het belangrijk dat je weet wat de walsrichting van de plaat is. Bij ASML moeten ze dat zeker weten vanwege die ‘grain flow’. Ook als er een product uit een plaat wordt gehaald, moet de ‘grain flow’ erbij worden aangegeven. Bij de bestelling moeten we dat mee laten geven. Puur om het krom trekken tot een minimum te beperken. Dat heeft met de parallelliteit te maken.”
Wat houdt dat in, parallelliteit?
“Parallelliteit is een maatvoeringskenmerk. Als je de onderkant en bovenkant van een plaat meet, moeten ze gelijk lopen natuurlijk. Maar door frezen kan er spanning in het materiaal komen. Het kan gaan trekken, waardoor de vlakheid van de plaat verdwijnt.”
“Bij apparaten voor de optische industrie stellen ze bijvoorbeeld hoge eisen. Afwijkingen geven een minder stabiel resultaat. Als je nachtkijkers voor defensie maakt bijvoorbeeld, of bij meetapparatuur. Je product is dan niet meer ‘aan de maat’, terwijl er heel veel uren in zitten. Bij producten van ASML is 40 uur werk aan een product heel normaal. Dit keer 72 euro, komt neer op een enorme schadepost.”
“Bij bepaalde materialen van ASML wordt zoveel verspaand dat gloeien belangrijk is. Ze hebben daar hele nauwkeurige toleranties. Gloeien doe je om de spanning uit materialen te halen. Of als je materiaal gelast hebt en scheuren wilt voorkomen. Je verandert dan de structuur in de zogenaamde HAZ: de ‘Heat Effected Zone’.”
Spanningsarm gloeien of rekristalliserend gloeien?
“Er zijn twee manieren om te gloeien: spanningsarm gloeien of rekristalliserend gloeien. Beide hebben als doel om spanning weg te halen of te verminderen. Bij spanning is je product niet maatvast. Bij het lassen kan het dan bijvoorbeeld opeens omhoog komen. Of je hebt het gefreesd en als je de klemmen weghaalt, gaat de plaat opeens krom staan.”
“Spanningsarm gloeien wordt het meest toegepast. Puur om de vormvastheid en maatvastheid te garanderen. Rekristalliserend gloeien doe je na een lasbehandeling. Dit is om de grootte van de kristallen aan te passen. Je maakt ze weer fijnkorrelig. En daarmee verdwijnt ook de spanning.”